A NYÁK expozíciós folyamata kulcsfontosságú lépés a tervezési minták réz-bevonatú laminátumokra való pontos átvitelében, amely közvetlenül meghatározza a NYÁK áramköri pontosságát és minőségét. A folyamatfolyamat megértése alapvető fontosságú a termelés minőségének ellenőrzéséhez és a hatékonyság javításához.
Az expozíciós folyamat folyamatának részletes magyarázata
Előkezelés: Az aljzat tisztítása és érdesítése
Az expozíció előtt a réz{0}}bevonatú táblát elő kell kezelni. Az aljzat felülete gyakran tapad a szennyeződésekhez, például olajfoltokhoz, porhoz és oxidokhoz. Ha nem távolítják el, az befolyásolja a filmbevonatot és az expozíciós hatást, ami elmosódott mintaátvitelt és száraz filmleválást eredményez. Általában először lúgos tisztítószereket használnak az olajfoltok eltávolítására, majd savas oldatokat használnak az oxidok feloldására. Tisztítás után az aljzat felületét érdesíteni kell, például vegyi maratással a réz felületét nátrium-perszulfát maratóoldattal mikromaratással, homorú konvex szerkezetet alakítva ki, növelve a száraz film és az aljzat érintkezési felületét, és fokozva a tapadást. Azonban szigorúan ellenőrizni kell a maratási időt és a koncentrációt, hogy a túlzott maratás ne befolyásolja a rézréteg vastagságát és az áramkör vezetőképességét.
Film: Paszta fotoreziszt
A filmragasztás az a folyamat, amikor száraz filmet viszünk fel a feldolgozott réz{0}}bevonatú laminátumra. A száraz fólia három rétegből áll: poliészter védőfólia, polietilén membrán és fényérzékeny fólia. A fényérzékeny film a mag, és érzékeny a fény meghatározott hullámhosszára. A száraz rétegvastagság változatos: 1,2 mil alkalmas finom áramkörökhöz és 2 mil olyan forgatókönyvekhez, ahol magas a -korróziógátló teljesítmény. A fóliát 20-24°C hőmérsékletű és 60-70%-os páratartalmú környezetben kell felhordani. A meleg préshenger segítségével a melegítéshez és a nyomás kifejtéséhez a száraz filmet a rézbevonatú laminátumhoz ragasztják. A fólia felhordási sebességét, nyomását és hőmérsékleti paramétereit pontosan szabályozni kell, például 1,5 ± 0,5 m/perc sebességet, 5 ± 1 kg/cm² nyomást és 110 ± 10 °C hőmérsékletet, hogy a száraz film szorosan tapadjon buborékok és ráncok nélkül.
Expozíció: Mintaátvitel elérése
Az expozíció ultraibolya sugárzással viszi át a filmmintát a réz{0}}bevonatú laminátumok száraz filmjére. A száraz filmben lévő fényérzékeny iniciátor elnyeli az ultraibolya fényt, szabad gyökökre bomlik, és beindítja a monomer térhálósodását, és nagy molekulákat képez, amelyek híg lúgban oldhatatlanok. Az exponálatlan rész a fejlesztés során feloldódik. A negatív filmet általában belső áramkörökhöz, míg a pozitív fóliát gyakrabban használják a külső áramkörökhöz. Az expozíciós berendezések közé tartoznak a higanylámpás expozíciós gépek és a LED-expozíciós gépek, amelyek az egyenletes beesés, a nagy párhuzamosság és az alacsony energiafogyasztás előnyei miatt fokozatosan népszerűvé váltak. Az expozíciós energia és az idő kulcsfontosságú paraméterek, és az elégtelen energia a film megduzzadását és a vonalak elmosódását okozhatja; A túlzott energia fejlesztési nehézségekhez és ragasztómaradványokhoz vezethet. Az általános 5000 W-os expozíciós lámpacsövet, amelynek felső és alsó lámpa expozíciós energiája 40-100 millijoule/négyzetcentiméter között van szabályozva, rendszeresen tesztelni és fényenergia-mérővel beállítani kell. Ezen túlmenően az igazítás pontossága is fontos. A fejlett expozíciós gépek optikai igazító rendszerekkel vannak felszerelve a pontos mintaátvitel érdekében.
Fejlesztés: Áramköri minták megjelenítése
Az előhívás az a folyamat, amikor egy meg nem világított száraz filmet gyenge lúgos előhívóval oldanak fel, megtartják a megvilágított részt, és lehetővé teszik az áramköri minta megjelenését. Az olyan paramétereket, mint a fejlesztési sebesség, a hőmérséklet, a nyomás és az előhívó koncentrációja szigorúan ellenőrizni kell. A túlzott sebesség száraz filmmaradványokat eredményezhet, ami rövidzárlathoz vezethet; A lassú sebesség erodálhatja a kitett száraz filmet, és huzaltörést okozhat. Az előhívási sebesség általában 1,5-2,2 m/perc, a hőmérséklet 30 ± 2 °C, a nyomás 1,4-2,0 kg/Cm ², az előhívó koncentrációja 0,85-1,3%. A fejlesztés után a NYÁK kártyát vízzel le kell mosni, meg kell szárítani, és az áramkört át kell vizsgálni. A hibás táblákat meg kell javítani vagy le kell selejtezni.
Az expozíció minőségét befolyásoló legfontosabb tényezők
A felszereltség szempontjából a fényforrás stabilitása döntő. A higanylámpák és a LED-lámpák fényereje hosszabb használat után csökken, és rendszeres tesztelésre és karbantartásra van szükség az elöregedett lámpák cseréjéhez vagy a meghajtó áramellátásának időben történő ellenőrzéséhez. Az igazítási rendszer pontossága befolyásolja a mintaátvitel pontosságát, a kamera szennyeződése és a gyújtótávolság változása pedig igazítási eltérést okozhat, ami rendszeres kalibrálást és karbantartást igényel. Anyagok tekintetében a gyenge száraz filmminőség befolyásolhatja az érzékenységet és a tapadást. Az olyan hibák, mint a karcolások és a fólián lévő lyukak, közvetlenül tükröződnek az áramköri mintában. Szükséges a beszerzés minőségének szigorú ellenőrzése, a tárolás és a felhasználás szabványosítása. A nem megfelelő expozíciós energia, idő és fejlesztési paraméterek a folyamatparaméterekben különféle minőségi problémákat okozhatnak. A gyártás során az optimális paramétereket kísérletekkel kell meghatározni, és rendszeresen ellenőrizni és módosítani kell.